半導體廢氣處理
一（yī）、半導（dǎo）廢氣處理（lǐ）成份
半導體行業廢氣主要成分為（wéi）有機廢氣和酸堿廢（fèi）氣兩類。有機類成分：非甲烷總烴、氮氧化（huà）物、二氧化硫等，酸（suān）堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯（lǜ）氣（qì）等。
二、行業排放標準（zhǔn）
三、半導體廢氣處理方法
一（yī）般半導體行業（yè）針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采用噴淋（lín）塔先對廢進行預處理，去除粉塵以及易溶於水的有害氣（qì）體。
(2)主要處（chù）理階段：在此階段，比較常見而有效方（fāng）法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
由於每家企業（yè）具體產生的廢（fèi）氣成分、風量大小、廢氣濃（nóng）度不同，所以采用的半導（dǎo）體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結（jié）合（hé）使用，具體處理方案可以谘詢我們，我們將（jiāng）有工程師一對（duì）一為您定製（zhì）廢氣處理方案。
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