半導體行業VOCs廢氣（qì）處理解決方案

麻豆精品国产免费观看小編今天為（wéi）大家分享半導體行業VOCs廢氣處理的解決方（fāng）案。

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光（guāng）刻膠、蝕刻液等溶劑（jì）中含有大量有機物成分。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部（bù）分通過揮發（fā）成（chéng）為廢氣排放。

     目前，針對這（zhè）種氣（qì）體排放，一 般采用（yòng）吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。 吸附（fù）是利用多孔性（xìng）固體吸附劑處理混合氣體，使其（qí）中所含的一種或多種組分吸附於固體 表麵上，達到分（fèn）離的目的。吸（xī）附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清 除（chú）（或回收）濃（nóng）度很低的有害（hài）物質（zhì），淨化效率（lǜ）高，設備簡單，操作（zuò）方便，且能實現自動控製。

但固體吸附劑的吸附（fù）容量小，需要大量的吸附劑，設備龐大，且吸附（fù）後吸附劑（jì）需要（yào）再生處理，是吸附處理的主要缺點。半導（dǎo）體生產場所揮發（fā）出來（lái）的有機廢氣（qì）通過局部排風罩收集，經管道送至吸附淨化係統。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活（huó）性炭是非極性吸附劑，對廢氣中水（shuǐ）蒸氣的靈敏度不高，且價格便宜。 焚燒的（de）方法也廣泛用（yòng）於半導體行業的各種有機廢氣處理，通過熱氧化將有機物轉化為 CO2 和水。同時（shí），焚燒對（duì）處（chù）理穩定流量和濃（nóng）度的廢（fèi）氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機廢氣流經過加熱，氣相中的有機物被（bèi）氧化（huà）。為節省燃（rán）料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產生的熱量對進口氣（qì）體進行預熱。對於處理大流量、低（dī）濃度（dù）的氣體，通常都要采用這種方法。 由於半導體行業廢氣焚燒會產生SiO2，且SiO2會使催化劑鈍化，因此半導體行業中很少采用接觸氧化的方法。

一些（xiē）半導體生產廠也（yě）使用旋轉濃縮係統富集有機廢氣，如沸石濃（nóng）縮轉輪。因為半導體工（gōng）藝（yì）過程中有機廢（fèi）氣具有排放流量大（通常大於 11039 m3 /小時）和濃度低（通（tōng）常（cháng）小於 25ppmv） 的特點，使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率（lǜ）。沸石濃縮轉輪使用內帶吸收物質的旋轉輪，其中的吸收物質部分曝（pù）露於廢氣流中。轉輪（lún）吸收廢氣中的揮發性汙染物，並使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中（zhōng）富集了較高濃度的揮發物，這種低流量、高濃度（dù）的氣流能（néng）很好地被氧化。旋轉濃縮係統用於半導體（tǐ）行業的一個缺點是它對甲醇親和力較差，去除率僅為（wéi） 40-60％。

     總而言之，廢（fèi）氣處理方（fāng）麵，半導體行業酸、堿（jiǎn）廢氣一（yī）般采用相應（yīng）的堿液吸收和酸液吸收（shōu）進（jìn）行處理， 工藝方法已非常成熟，隻要適當優化相關工藝參數，能夠滿足本（běn）標準的要求，需要關注的有 機廢氣的處理。目前處理有機廢氣（qì）的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法（fǎ）、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，淨化效果好，但是（shì）運營成本會很高；吸收法適合於溫度低、中（zhōng）高濃度的廢（fèi）氣；直接燃燒法適合於高濃度、小風（fēng）量廢氣治理；冷凝法適用於成分相（xiàng） 對單一、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣。對於半導體行業低濃度（dù）、大風量、成分複（fù）雜的（de）有機廢氣，吸（xī）附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均（jun1）不適用，比較適用的（de）是吸附——催化（huà）燃燒法。目前省內一些（xiē）大型（xíng）半導體企（qǐ）業已采用沸石轉（zhuǎn）輪濃縮後燃燒，該方法適用於大風量、低濃度、常溫的有機廢氣處理（lǐ），淨化（huà）效（xiào）率達到90％以上，濃縮比達20﹕1，運行費用（yòng）較低，設備（bèi）處理風量大，占地（dì）麵（miàn）積小，不（bú）產生二（èr）次汙染，可持續脫附並（bìng）處理汙（wū）染物。根據企業實際運 行情況，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理（lǐ）效（xiào）率（lǜ）達到95%；200mg/m3以下時處理 後濃度控製在（zài）20mg/m3，可保證廢氣達標排（pái）放。

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