光電（diàn）產（chǎn）品製造過程中VOCs的排放

今天小編繼續為您介紹在光電產品製（zhì）造行業中（zhōng），產生廢氣汙（wū）染的主要有五類產品的製造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印製（zhì）電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也是我們廢氣處理經常麵對的。

①半導體（tǐ）集成電路製造過（guò）程中VOCs的排放半導體製造（zào）工藝中VOCs主要來源於光刻、顯影（yǐng）工序，在這些工序中要用有機（jī）溶液(如異丙醇)對晶片（piàn）表麵進行清洗，其揮發產生的廢氣是有（yǒu）機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用的光阻劑（jì）(光刻膠（jiāo）)中含盡有易揮發的（de）有機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處（chù）理過程中（zhōng）產生的有機廢氣（qì）也要揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD製造過程中（zhōng）VOCs的排放包括檢査和測試在內，TFT-LCD的製造生產（chǎn）製工藝可達到（dào）100多道（dào）工序（xù），生產過程中使（shǐ）用多種化學有機溶（róng）劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分複（fù）雜。TFT液晶麵板生（shēng）產排放VOCs汙染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜時工程兩大部（bù）分。陣列工程中的光（guāng）刻(塗膠、曝光和顯影)，以及彩膜工（gōng）程中的黑色矩BM膜製造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產生少量VOCs。TFT-LCD的製造過程中產生的VOCs主要是以異丙醇（chún）為主，其次依序是丙（bǐng）酮、單甲基醚丙二醇（chún）、單甲（jiǎ）基醚丙二醇乙酸酯，這（zhè）四種成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電（diàn）子組件製造過（guò）程（chéng）中VOCs的排（pái）放LED電子組件生產產生的VOCs汙染物（wù）主要（yào）來源於基（jī）片處理和光刻，LED生產過（guò）程中產生VOCs的種類主（zhǔ）要有三氯乙烯、丙二醇醚酯（zhǐ）、異丙（bǐng）醇、丙酮、丁酮等。

④印製電路（lù）板（bǎn）(PCB)製（zhì）造過程中VOCs的排放在單麵、雙麵和多麵（miàn）印製電路板製作工藝中，產生的VOCs工藝環節相對較集中，主要來源於貼膜、烘（hōng）幹、江、印刷等工（gōng）子，VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇（chún）)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存過程中也會有部分乙（yǐ）酸（suān）乙VOCs產生和排放。

⑤電子終端產品製造過程中VOCs的排放在電子終端產品製造（zào）中，VOCs的主要來源（yuán）包括電路板清洗劑（jì）有機廢氣(使用有機溶劑型清洗劑)、電路板三防噴漆廢氣、機売（mài）(機箱（xiāng）)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位（wèi）上的局部排風係（xì）統，特點是排風（fēng）量（liàng）大（dà）、濃度低。

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